超聲波發生器的主要元件為超音頻IGBT電力電子器件，在系統的運行過程中，起著重要的輔助作用。
(2)加熱與溫度控制系統。加熱與溫度控制系統也是超聲波清洗系統中不可或缺的重要組成，加熱清洗劑，可以獲取滿意的洗滌效果，系統在運行過程中可以自動控制溫度，根據清洗設備的差異自動來調節溫度。
(3)清洗槽。現行的清洗槽多由不銹鋼氬弧焊接制作而成，硬度高
(4)槽液循環過濾系統。在槽液循環過濾系統之中，設置了過濾器，可以實現動態過濾，有效提高了槽液的清潔度。
5)輸送系統。在清洗前，系統可以根據被清洗件的體積、形狀、數量等來確定清洗控制和輸送方式。
(6)噴淋漂洗系統。噴淋漂洗系統可以根據被清洗件的實際情況，配合相應的漂洗工具，將噴淋清洗工藝與超聲波清洗工藝相結合，達到理想的清洗效果。
(7)烘干系統。烘干系統屬于清洗設備的輔助系統，主要包括風機、加熱器、吹風噴嘴組成。